Высоковакуумные системы XST Vacuum

STFJ

Оборудование для решения

STFJ-300Wвысоковакуумный откачной пост (STFJ): Получение и поддержание высокого и сверхвысокого вакуума в технологических системах. Получение и поддержание высокого и сверхвысокого вакуума в технологи

Подробнее о модели

Задача

Высоковакуумные системы применяются там, где требуется стабильное остаточное давление порядка 10⁻⁴–10⁻⁷ Па и ниже: в электронной промышленности, материаловедении, исследовательских установках и технологических камерах большого объёма.

Типовая архитектура

Классическая схема включает форвакуумную ступень (вращательно-пластинчатый, спиральный или насос Рутса), высоковакуумную ступень (турбомолекулярный или диффузионный насос), запорную и измерительную арматуру, блок управления и средства контроля давления на нескольких точках.

Критерии подбора

Целевое остаточное давление и допустимое время откачки
Объём камеры и газовая нагрузка процесса
Чувствительность к парам масла и требования к чистоте среды
Режим работы: непрерывный, циклический, периодический напуск

Работы LeakLab

Инженеры LeakLab выполняют расчёт быстроты откачки, подбор конфигурации XST Vacuum, поставку, монтаж, пусконаладку, измерение остаточного давления и контроль герметичности способом обдува гелием.

Типовая структура системы

В состав могут входить форвакуумный насос, турбомолекулярный или диффузионный насос, запорная арматура, средства измерения давления и блок управления. Конкретный состав определяется по техническому заданию.