Турбомолекулярные откачные посты XST Vacuum

Форвакуумный масляный вращательно-пластинчатый насос

BEI-YI-YOU-CHENG-XUAN-PI

Оборудование для решения

Форвакуумный масляный вращательно-пластинчатый насос (BEI-YI-YOU-CHENG-XUAN-PI): Предварительная откачка и поддержание давления форвакуумной ступени. Предварительная откачка и поддержание давления фор

Подробнее о модели

Назначение

Турбомолекулярные откачные посты обеспечивают чистый высокий и сверхвысокий вакуум без масляного тумана на стороне технологического объёма. Применяются в лабораториях, производстве электроники и установках с жёсткими требованиями к чистоте среды.

Компоновка

Типовой пост включает турбомолекулярный насос, форвакуумный насос, блок управления, вакуумметры широкого и высокого диапазона, запорную арматуру и патрубки подключения DN по стандарту ISO-K или CF.

Согласование ступеней

Критично соответствие быстроты откачки форвакуумного насоса объёму системы и допустимому давлению на входе турбонасоса. Превышение нагрузки сокращает ресурс подшипников и ротора.

Сервис

LeakLab подбирает конфигурацию XST Vacuum, выполняет пусконаладку, контроль герметичности фланцев и обучение операторов.

Типовая структура системы

В состав могут входить форвакуумный насос, турбомолекулярный или диффузионный насос, запорная арматура, средства измерения давления и блок управления. Конкретный состав определяется по техническому заданию.